科毅股份有限公司

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科毅科技提供專業的黃光設備(清洗、塗佈、曝光(光刻)、顯影、蝕刻機台、玻璃光罩設計…等新/中古設備),以及提供客戶潔淨且完善的微影實驗室,並經由專業團隊的研發與實驗,更可設計出符合客戶需求的「客製化 黃光機台設備」。
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廠商介紹產品與解決方案

公司介紹

我們的使命: 「工藝求精‧堅持創新」
科毅科技提供專業的黃光設備(清洗、塗佈、曝光(光刻)、顯影、蝕刻機台、玻璃光罩設計…等新/中古設備),以及提供客戶潔淨且完善的微影實驗室,並經由專業團隊的研發與實驗,更可設計出符合客戶需求的「客製化 黃光機台設備」。

我們的願景: 「成為Photo 微影製程設備及材料的專家」
Photo 微影製程設備是微電子製造和半導體產業的主要設備之一。 這些設備主要用於在矽晶圓和其他基板上創建精細圖案,以形成積體電路和其他微電子設備的結構。
 

主要產品與服務

我們的服務範圍:
  1. 光刻系統:
    科毅能提供光刻設備製造服務。 光刻系統採用紫外光或其他特定波長的光源,透過光阻和光罩將預定圖案投影到矽片表面。 在此階段,確定每個部件的確切位置和尺寸。
  2. 光阻:
    科毅能提供光阻感光材料服務。光阻塗在矽片表面,透過微影系統曝光,形成光刻圖案。 通常暴露於紫外線或深紫外線輻射下。
  3. 遮罩版(光掩膜):
    科毅能提供遮罩版服務。遮罩版是一塊透明的玻璃或石英板,其上印有所需圖案的光刻圖案。 光刻系統的投影將該圖案轉移到光阻上。 製作需要高精度的工藝。
  4. 曝光光源(UV Led):
    科毅能提供曝光光源(UV Led)產生的服務。除了UV Led (365nm/405nm/435nm)的光源提供之外,也可以用來改裝各種其他廠家的曝光設備的光源系統。
  5. 塗佈設備 及 顯影設備:
    科毅能提供各種類型的塗佈/顯影/去光阻/蝕刻 的設備製造服務。
  6. 半導體周邊系統:
    科毅能提供半導體周邊系統製造服務。 目前販售有 : MCS (Mask Clean System)是一種物理性非機械或化學接觸的光罩清洗設備,具備高效除塵效果,更是EUV高階設備的好幫手。
 

企業基本資訊

企業中文名稱
科毅科技股份有限公司
董事長
林憲維
連絡電話
(03)485-2036
傳真電話
(03)485-2512
聯絡地址
桃園市楊梅區高獅路863巷10號
聯絡人
林憲維
電子郵件
richard@mrnanotec.com.tw
企業網站
https://www.mrnanotec.com.tw/
產業類別
半導體產業
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