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前往廠商- 化學品分類：
酸性化學品
鹼性化學品
有機溶劑化學品
- 化學系統單元架構：
儲存槽：設於廠務區,化學品暫存用,設有液位計,實時通知值班人員補充化學品
供應設備：設置於廠務區,用於化學品供應/輸送/釋稀/淨化
分配閥箱(VMB)：設於無塵室,將化學品分配至多個生產機台
I/O Panel：設於無塵室,做為生產機台與供酸機台通訊接口用
DCP (Main PLC Panel)：設於廠務區,做為I/OPanel/供酸機台/SCADA訊號交換用
SCADA (監控系統)：設於廠務區,監看各I/OPanel/供酸機台/VMB運轉狀況,並實時發出警報及記錄系統狀態
管路系統：化學品輸送用,依化學品特性材質可分為PFA或SUS或PV
UTILITY：供酸機台所需之Power/N2/CDA/UPW/EXH/Drain..屬之
- TS(台灣特種設備製造許可證)
- Semi S2(國際半導體製造設備的安全衛生及環保標準)
- GB(中國國家標準)
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