半導體產業暨工業及科學真空技術解決方案

GXS 乾式螺旋真空泵浦

Edwards GXS 乾式螺旋真空泵浦具有獨特創新的螺旋技術和自動化控制能力，實現先進的溫度控制與更長的維修間隔，協助客戶在未來數年內可享有同級最佳的抽氣速度與低營運成本。

產品優勢與特性

• 先進的軸封技術
  GXS 內置的創新技術可保護齒輪箱不受汙染，並維持無油的真空空間。非接觸式長效密封能確保絕佳密封效果，發揮足以信賴的抽氣效能。
• 一台智慧泵浦，實現一致性的輸出
  智慧型機載控制面板使您能夠對生產程序進行自動化控制，具有自動啟動/停止例行功能、節電、環保模式 AUC 和自行清潔選項。
• 先進的泵浦機械設計
  GXS 運轉安靜、功能強大，更新版的技術與設計可確保低振動與靜音操作，是精密工作環境的最佳選擇。強化的螺旋型轉子能提供漸進式壓縮，在製程的每個階段皆能改善熱控制並最佳化抽氣效能。
• 可為您的應用提供客製化解決方案
  GXS 系列可客製化，以便在各種應用中提供最佳效能。從輕負荷至中負荷應用，我們都能協助您找出最合適的單一泵浦、泵浦與增壓器組合，或是完整的真空系統，以滿足您的精確需求。
• 使用壽命長的軸承和潤滑
  借助無需潤滑油脂和維護間隔的油潤式齒輪，您可以期待延長運作壽命並節省維護成本。

Edwards GXS 適用於哪些應用

• 冶煉
• 塗層 (鍍膜)
• 太陽能
• 乾燥
• LED 製造
• 電漿製程
• 真空腔體抽氣