• 具有多角度檢測視角，可取代人眼來判斷晶圓上的瑕疵。• 具有明暗場光源，可針對不同的瑕疵類型作切換。• 可適用於Silicon & Glass Wafer。• Wafer 正背面皆可檢測。• 視覺Edge Alignment。
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