透過白光干涉進行厚度、表面粗糙度測量。一台設備適用多種類型樣品，滿足奈米~毫米級別，實現「高解析度」、「大視野」、「非接觸式」、「短時間」、「多層膜厚」測量。整體示意圖 從樣品表面凹凸不平所產生之光程差獲得干涉條紋訊息轉換成高度訊息，生成3D圖像 無須切割截面，系統會依據各層不同的干涉條紋輸出虛擬截面圖像，測量多層厚度
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