晶圓瑕疵檢查設備

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廠商名稱：台灣菱光社股份有限公司

自動從Cassette搬運8吋矽晶圓，檢查晶圓表面(上下邊緣、APEX)有無異物、污漬等缺陷。
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自動從Cassette搬運8吋矽晶圓，檢查晶圓表面(上下邊緣、APEX)有無異物、污漬等缺陷。
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