銳澤實業開發local scrubber，整合主動式噴氣及氣固分離技術，提供高效率去除粉塵之解決方案。新型主動式噴氣設計是利用將堆積於管道的粉塵往分離器方向吹，氣固分離器利用螺旋氣流將大小顆粒往下帶，乾淨無粉塵的特氣會到後續的燃燒段去除。此外主動式噴氣的另一好處為高流速的氣流帶動沾附於管壁的粉塵，尾氣管路也不需加熱帶，大幅降低製程中能源消耗，減少管道堵塞延長Dry pump及Burn scrubber尾氣設備使用壽命及妥善率。因此解決管道堵塞能降低設備維修成本並提高晶圓良率及生產效能。
銳澤實業開發local scrubber，整合主動式噴氣及氣固分離技術，提供高效率去除粉塵之解決方案。新型主動式噴氣設計是利用將堆積於管道的粉塵往分離器方向吹，氣固分離器利用螺旋氣流將大小顆粒往下帶，乾淨無粉塵的特氣會到後續的燃燒段去除。此外主動式噴氣的另一好處為高流速的氣流帶動沾附於管壁的粉塵，尾氣管路也不需加熱帶，大幅降低製程中能源消耗，減少管道堵塞延長Dry pump及Burn scrubber尾氣設備使用壽命及妥善率。因此解決管道堵塞能降低設備維修成本並提高晶圓良率及生產效能。
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