熱板/冷板-烘烤設備

熱板/冷板-烘烤設備

廠商名稱：華立企業股份有限公司

  1. FOPLP/FOWLP烘烤設備
  2. 對應不同製程所需烘烤設備需求, 脫水乾燥, 軟烤, 硬烤等
  3. 對應基板尺寸規格: 510x515mm, 300x300mm, 600x600mm, 12”Wafer等
  4. 高效溫度控制精度, 常規規格溫度可達到≦150℃：±2.5℃, 最大溫度可客製化達到≦250℃規格
  5. 基板翹取解決方案設計, 避免基板翹曲造成溫度不均問題發生 
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詳細說明
  1. FOPLP/FOWLP烘烤設備
  2. 對應不同製程所需烘烤設備需求, 脫水乾燥, 軟烤, 硬烤等
  3. 對應基板尺寸規格: 510x515mm, 300x300mm, 600x600mm, 12”Wafer等
  4. 高效溫度控制精度, 常規規格溫度可達到≦150℃：±2.5℃, 最大溫度可客製化達到≦250℃規格
  5. 基板翹取解決方案設計, 避免基板翹曲造成溫度不均問題發生 
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