靜電消散工藝改善方案

類鑽碳(DLC)擁有高硬度、低摩擦係數、高緻密度、耐磨耗、耐腐蝕性、靜電消散性質等特點，因此廣泛應用於半導體產業鏈。

業界的靜電消散工藝主要以硬陽處理、噴塗鐵氟龍為主。在高溫環境下，硬陽處理的靜電消散層會由於上述原因逐漸不穩定，同時也會降低其耐蝕性與機械強度。

DLC塗層特殊結構賦予它鑽石般的機械強度與可調配表面電阻特性，使得DLC在高溫(<300℃)環境也能維持穩定性，以降低成本、提高良率與與信賴性，展現出DLC之優異性能。